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200納米分辨率X光探測器問世

據科技日報報道,日本高亮度光科學研究中心(JASRI)、理化學研究所及神島化學工業公司組成的研究小組,成功開發出能分辨200納米結構的高分辨率X光成像探測器。這款X光探測器擁有全球最高的分辨率,能獲得前所未有的高精細X光圖像。

研究小組利用X光轉換為可見光,開發了無接合層的5微米厚透明薄膜閃爍體,大幅提高了光學特性,實現了接近X光成像理論極限的200納米分辨率。利用該探測器,研究小組成功拍攝了超大規模集成電路(VLSI)器件內部300納米寬的布線。這是全球首次以實用水平畫質無損拍攝出VLSI內部的微細布線。


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